產(chǎn)品分類
- 磁控濺射鍍膜儀
- 熱蒸發(fā)鍍膜儀
- 高溫熔煉爐
- 等離子鍍膜儀
- 可編程勻膠機(jī)
- 涂布機(jī)
- 等離子清洗機(jī)
- 放電等離子燒結(jié)爐
- 靜電紡絲
- 金剛石切割機(jī)
- 快速退火爐
- 晶體生長(zhǎng)爐
- 真空管式爐
- 旋轉(zhuǎn)管式爐
- PECVD氣相沉積系統(tǒng)
- 熱解噴涂
- 提拉涂膜機(jī)
- 二合一鍍膜儀
- 多弧離子鍍膜儀
- 電子束，激光鍍膜儀
- CVD氣相沉積系統(tǒng)
- 立式管式爐
- 1200管式爐
- 高溫真空爐
- 氧化鋯燒結(jié)爐
- 高溫箱式爐
- 箱式氣氛爐
- 高溫高壓爐
- 石墨烯制備
- 區(qū)域提純爐
- 微波燒結(jié)爐
- 粉末壓片機(jī)
- 真空手套箱
- 真空熱壓機(jī)
- 培育鉆石
- 二硫化鉬制備
- 高性能真空泵
- 質(zhì)量流量計(jì)
- 真空法蘭
- 混料機(jī)設(shè)備
- UV光固機(jī)
- 注射泵
- 氣體分析儀
- 電池制備
- 超硬刀具焊接爐
- 環(huán)境模擬試驗(yàn)設(shè)備
- 實(shí)驗(yàn)室產(chǎn)品配件
- 實(shí)驗(yàn)室鍍膜耗材
- 其他產(chǎn)品
產(chǎn)品詳情
簡(jiǎn)單介紹：
該區(qū)域提純爐主由：高溫梯度爐、真空爐管、真空法蘭、電子真空計(jì)、質(zhì)量流量計(jì)、分子泵組、直線導(dǎo)軌、速度控制器等重要部件構(gòu)成。區(qū)域提純爐廣泛用于半導(dǎo)體鍺、硅提純還可以用于金屬、金屬間化合物提純。
詳情介紹：
該區(qū)域提純爐主要由：高溫梯度爐、真空爐管、真空法蘭、電子真空計(jì)、質(zhì)量流量計(jì)、分子泵組、直線導(dǎo)軌、速度控制器等重要部件構(gòu)成。廣泛用于半導(dǎo)體鍺、硅提純還可以用于金屬、金屬間化合物提純。
主要技術(shù)參數(shù)：
工作溫度：1200℃
爐管長(zhǎng)度：1200mm
爐管直徑：50mmm
爐管厚度：5mm
密封方式：不銹鋼真空法蘭
真空度：1.0X10E-3Pa
流量計(jì)類型：質(zhì)量流量計(jì)
氣體流量：100SCCM、200SCCM、500SCCM
載料舟長(zhǎng)度：200mm
移動(dòng)速度：160mm/60min（可根據(jù)實(shí)際要求調(diào)節(jié)）
溫度控制：50段可編程控制
控制系統(tǒng)：全電腦程序控制
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