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產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱:1200℃三通道CVD系統(tǒng)

  • 產(chǎn)品型號:CY-CVD1200-60-220×440×220-3TH-Q
  • 產(chǎn)品廠商:成越科儀
  • 產(chǎn)品文檔:
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簡單介紹:
該套CVD系統(tǒng)主要由:材料加熱、真空獲取、氣體測量和等離子發(fā)生器四大部分構(gòu)成??梢詽M足日常的大多數(shù)CVD實(shí)驗(yàn)和各種科研要求。該CVD系統(tǒng)是材料制備過程中的理想之選。
詳情介紹:

一體式CVD系統(tǒng)設(shè)計(jì)緊湊,使用方便。特別是豐富的圖文界面,即使您是**操作,該系統(tǒng)也能順利引導(dǎo)您很快掌握該CVD系統(tǒng)的使用和操作,您根本無需專業(yè)學(xué)習(xí),為您節(jié)省大量的科研時(shí)間,真正做到事倍功半!

產(chǎn)品特點(diǎn):

1、豐富的圖文信息:全尺寸液晶圖文界面

2、系統(tǒng)高度集成:各個(gè)部分均由軟件協(xié)同進(jìn)行數(shù)據(jù)采集、交換、處理、輸出

3、可使實(shí)驗(yàn)步驟程序化、自動化

技術(shù)參數(shù):

項(xiàng)目

明細(xì)

供電電壓

AC220V,50Hz

MAX功率

5KW

加熱溫區(qū)

220mm+440mm+220mm

工作溫度

1100℃ 1200℃1h

控溫精度

±1℃

升溫速率

建議≤10℃/min

控溫方式

AI-PID 30段工藝曲線,可存儲多條

三溫區(qū)獨(dú)立控制,帶有過熱和斷偶保護(hù)

爐管材質(zhì)

高純石英

爐管尺寸

φ60mm O.D×1300mm L

氣體通道

三通道質(zhì)量流量計(jì)

氣體量程

A100sccm   B300sccm  C500sccm

系統(tǒng)真空

5~10Pa(如需更高真空度可以選配其他的泵)

豫公網(wǎng)安備 41019702002438號

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