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產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱:耐腐蝕柜式勻膠機(jī)

  • 產(chǎn)品型號(hào):CY-S-PC
  • 產(chǎn)品廠商:成越科儀
  • 產(chǎn)品文檔:
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簡(jiǎn)單介紹:
CY-S-PC耐腐蝕柜式勻膠機(jī)采用全PP耐腐蝕全柜式設(shè)計(jì),滿足工業(yè)級(jí)別手動(dòng)勻膠需求,配備自動(dòng)點(diǎn)膠功能確保了勻膠和點(diǎn)膠過(guò)程中的重復(fù)性。耐腐蝕柜式勻膠機(jī)適用于半導(dǎo)體、硅片、晶片、基片、導(dǎo)電玻璃及制版等表面涂覆工藝
詳情介紹:

CY-S-PC柜式勻膠機(jī)產(chǎn)品特點(diǎn):

1. 耐腐蝕PP全柜式獨(dú)立勻膠臺(tái)

2.勻膠機(jī)底部帶廢膠收集,頂部帶抽風(fēng)功能

3.可升級(jí)自動(dòng)點(diǎn)膠功能,適合工業(yè)化生產(chǎn)

4.集成觸摸屏控制,上下移動(dòng)式透明觀察窗

5.使用伺服電機(jī)系統(tǒng),性能穩(wěn)定,滿足工業(yè)要求

CY-S-PC柜式勻膠機(jī)產(chǎn)品參數(shù):

1.旋涂程序:至多存100組程序,每組100步,每個(gè)步驟可**到0.1

2.轉(zhuǎn)動(dòng)速度:0-5000rpm(更高速可選),考慮重片或大片旋涂safety限定為5000rpm

3.旋涂加速度:0-10000rpm/sec(更高可選),考慮重片或大片旋涂safety限定為10000rpm/s

4.馬達(dá)旋涂轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性能誤差:< ±1rpm

5.轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)精度和重復(fù)性:1rpm

6.工藝時(shí)間設(shè)定: 0-3000 sec/step,時(shí)間設(shè)置精度:0.1sec

7.支持晶圓尺寸25px-300mm12“圓晶)

8.旋涂作業(yè)均勻性:< ±3% 6英寸范圍內(nèi)(需要去除邊緣3毫米區(qū)域測(cè)量)

9..可配備多路自動(dòng)點(diǎn)膠功能,點(diǎn)膠流速0.006-990ml/min可調(diào)

10.標(biāo)配三種規(guī)格真空載物盤,其它尺寸可定制設(shè)計(jì)

11.可配備多路自動(dòng)點(diǎn)膠功能,點(diǎn)膠流速0.006-990ml/min可調(diào)

12.標(biāo)配三種規(guī)格真空載物盤,其它尺寸可定制設(shè)計(jì)

13.外型尺寸:1200mm(W)*800mm(D)*2300mm(H)

免責(zé)聲明:

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